Das Zeiss Supra VP 55 ist ein REM mit Feldemissionskathode (FEG) und hoher Auflösung sowie „Variable Pressure“ Modus (VP). Neben einem EDX Detektors zur Elementanalyse ist es noch mit einem wellen-dispersivem Röntgenspektrometer (WDX) und einem EBSD (Electron Backscatter Diffraktion) Detektor ausgestattet.
2. Geräteverantwortliche: Andrea Bluhm, Durchwahl: -4881
2. Leo 1530 (FEG-REM)
Das Leo 1530 ist ein REM mit Feldemissionskathode (FEG) und hoher Auflösung. Neben einem EDX Detektors zur Elementanalyse besitzt es einen speziellen Rückstreudetektor, der 3D-Rekonstruktionen der Probenoberfläche ermöglicht.