Die Helios Nanolab G3 UC der Firma FEI (Thermo Fisher) kombiniert eine FIB (Focussed Ion Beam) mit einem modernen Rasterelektronenmikroskop (REM) => Dual beam Gerät.
Mit dem Elektronenstrahl können hochauflösende Abbildungen der Probenoberfläche gemacht werden und mit dem Gallium Ionenstrahl kann Probenmaterial abgetragen werden. Die Helios ist dadurch hervorragend geeignet, um dünne Proben für die weitere Untersuchung in einem Transmissionselektronenmikroskop herzustellen.
Die Kombination beider Strahlenarten (Elektronen- und Ionenstrahl) erlaubt aber auch direkt 3D-Untersuchungen des Probenmaterials in der Helios.
Wie alle EM-Mikroskope der BeEM ist auch die Helios mit einem EDX System ausgestattet. Die Kombination des schichtweisen Abtragens des Probenmaterials mit der EDX Analyse erlaubt die Erstellung von 3D Modellen einzelner Probenphasen.
