Mit der EDX kann die Elementzusammensetzung von Proben bestimmt werden (auch quantitativ). Es können alle Elemente ab Ordnungszahl 4 (Beryllium) nachwiesen werden.

Zentrales Element von elektronenmikroskopischen Untersuchungen ist das Bestrahlen der zu untersuchenden Proben mit einem feinen Elektronenstrahl. Ist die Energie des eingesetzten Elektronenstrahls hoch genug, werden die Atome der Probe angeregt und emittieren Röntgenstrahlung. Die Atome eines chemischen Elementes emittieren hierbei Röntgenstahlen mit einer für das Element charakteristischen Energie (Fingerabdruck).

Die EDX Analytik detektiert diese Röntgenquanten und „sortiert“ sie je nach Energie in schmale Klassen (Kanäle) ein.  Trägt man diese Energiekanäle gegen die Anzahl der Röntgenquanten in den einzelnen Kanälen auf erhält man ein EDX Spektren.

Peaks in diesen Spektren können den charakteristischen Energien einzelner Elemente zugeordnet werden.
Durch weitere Auswertung dieser Spektren ist es möglich qualitative und sogar quantitative Aussagen über die Elementzusammensetzung der Probe zu machen. Unsere EDX Software ermöglicht es auch Elementkarten der Probenoberfläche (EDX Mapping) oder sogenannte Line-Scans zu erstellen.

Die Nachweisgrenze der EDX Analytik liegt je nach Ordnungszahl des nachzuweisenden Elements bei ca. 0,1 bis 0,2 w% (Gewichtprozent).  Die Energieauflösung liegt bei ca. 120 bis 130 eV.

Die laterale Auflösung der EDX Analytik wird bei Analysen in einem REM von dem angeregten Probenvolumen begrenzt und liegt je nach Probenmaterial und Anregungsenergie im Bereich von einigen um. Aufgrund der sehr dünnen Proben in einem TEM liegt die laterale Auflösung hier im Bereich von 1 bis 10 nm.

EDX-Analytik ist an allen unseren Elektronenmikroskopen installiert.