Reinraumklasse ISO 2 auf den Arbeitsflächen

Reinrauminventar:

  1.  Chemikalienboxen für Arbeiten mit hochkonzentrierten Säuren / Laugen
       (Flußsäure, Salpetersäure, Schwefelsäure, Ammoniak etc.)
       und Lösungsmitteln (Aceton, 2-Propanol, Photoresist, Remover etc.)
  2.  Anodische Bonder
  3.  Critical Point Dryer
  4.  Belichter
  5.  Mikroskop
  6.  Temperöfen
  7.  Photolackschleuder
  8.  Hotplate
  9.  Primer
10.  div. kleine Laborgeräte

Im Reinraum können Wafer und andere Substrate mit diversen Chemikalien geätzt und gereinigt werden.
Diese Prozesse werden getrennt nach Metallen und Halbleitern in separaten Chemikalienboxen durchgeführt.

Im Gelbraum können Photoprozesse mit Strukturgrößen von ca. 500 nm realisiert werden.