Auf diesen Seiten soll die Technologie des Instituts für Mikrosystemtechnik vorgestellt werden.
Die Anlagen und Geräte sind dafür in folgenden Kategorien gegliedert:
Neuanschaffungen (aus Forlab/HELIOS)
Photolithographie
Abscheideverfahren
Strukturierungsverfahren
Probenbearbeitung
Aufbau- und Verbindungstechnik
Reinraum
Analytik