Naßchemie

 

KOH

  • Richtungsbevorzugtes Ätzen von Silizium
  • beheizt

HF

  • Ätzen von SiO2-Dünnschichten und Borsilikatglas als Bulk
  • HF Konzentration bis 49%
  • BOE - Buffered oxide etch

Metallätzen