Institut für Mikrosystemtechnik
Institut für Mikrosystemtechnik
DE
EN
DE
EN
Startseite
Forschung
Forschung
Forschung
Forschung
Hamburg Quanten Computing (HQC)
Photonische Biosensoren
SPLASHH
ForLab HELIOS
Forschungsberichte
Publikationsliste
Technologie
Technologie
Technologie
Technologie
Neuanschaffungen (aus Forlab/Helios)
Photolithographie
Abscheideverfahren
Strukturierungs-verfahren
Probenbearbeitung
Aufbau- und Verbindungstechnik
Reinraum
Analytik
Lehre
Lehre
Lehre
Lehre
Stud.IP
Studierendenarbeiten
Mitarbeitende
Aktuelles
MST >
Technologie >
Strukturierungs-verfahren
Nano-Imprint
Nano-Imprint
Herstellung von Silikon-Imprint-Stempeln
Softimprint auf UV-aushärtbaren Photolacken
Substrate bis zu 100 mm
Siehe auch
Belichter
EVG 620
