Belichter
- EVG 620
- 4-Zoll- und 6-Zoll-Substrate
- Kontakt-Lithographie (365 nm) und DUV (248 nm)
- Rückseitenjustage
- Nano-Imprint (Stempelherstellung 4-Zoll-Stempel und Softimprint)
- Süss MA 45
- 4-Zoll- und 3-Zoll-Substrate
- Kontakt-Lithographie (365 nm)
- Süss MA 4
- 4-Zoll- und 3-Zoll-Substrate
- Kontakt-Lithographie (365 nm)
- Rückseiten IR-Justage
