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Daten zum Prozessmikroskop
- Beleuchtung mit Xenon-Blitzlampe, 3 µs Pulsdauer
- 18 Beleuchtungsfasern Quarz/Quarz 200/220 µm
- 18 Quarzglas-Stablinsen zur Kollimation
- Quarzglas-Axikon-Linse zur Dunkelfeld-Beleuchtung
- Quarzglasfenster zur Abdichtung der Optik
- Tiefe des beleuchteten Proben-Volumens: 300 µm
- Schärfentiefe der Beobachtung: ~ 100 µm
Objektive:
- ULTROPAK UO6,5:
- Gesichtsfeld: 2,2 x 1,7 mm2
- Auflösung: 3 µm
- Schärfentiefe: 100 µm
- ULTROPAK UO11:
- Gesichtsfeld: 1,1 x 0,8 mm2
- Auflösung: 2 µm
- Schärfentiefe: 50 µm
- Arbeitsabstand: per Mikrometer einstellbar: 0-300 µm, bei Immersion in Wasser (n=1.33)
- Scharfstellung: zufallsbedingt, nicht beeinflußbar, auswählbar durch Bildverarbeitung.
- Relay-Optik: 1 Zwischenabbildung mit Feldlinse
- Betriebsdaten:
- max. zulässige Temperatur: 120 °C
- max. Einstecktiefe: 350 mm
- max. zulässiger Außendruck: 1 bar
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