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Aufbau des Prozessmikroskopes

Aufbau

Daten zum Prozessmikroskop

  • Beleuchtung mit Xenon-Blitzlampe, 3 µs Pulsdauer
  • 18 Beleuchtungsfasern Quarz/Quarz 200/220 µm
  • 18 Quarzglas-Stablinsen zur Kollimation
  • Quarzglas-Axikon-Linse zur Dunkelfeld-Beleuchtung
  • Quarzglasfenster zur Abdichtung der Optik
  • Tiefe des beleuchteten Proben-Volumens: 300 µm
  • Schärfentiefe der Beobachtung: ~ 100 µm
Objektive:
  • ULTROPAK UO6,5:
  • Gesichtsfeld: 2,2 x 1,7 mm2
  • Auflösung: 3 µm
  • Schärfentiefe: 100 µm

  • ULTROPAK UO11:
  • Gesichtsfeld: 1,1 x 0,8 mm2
  • Auflösung: 2 µm
  • Schärfentiefe: 50 µm
  • Arbeitsabstand: per Mikrometer einstellbar: 0-300 µm, bei Immersion in Wasser (n=1.33)
  • Scharfstellung: zufallsbedingt, nicht beeinflußbar, auswählbar durch Bildverarbeitung.
  • Relay-Optik: 1 Zwischenabbildung mit Feldlinse
  • Betriebsdaten:
  • max. zulässige Temperatur: 120 °C
  • max. Einstecktiefe: 350 mm
  • max. zulässiger Außendruck: 1 bar

Bilder


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